Opintojaksot  
|Tutkinnot| |Opintokokonaisuudet| |Kaikki| |Jatko| |KV|

Opinto-opas 2007-2008

MIT-4030 MIKROANTURIT, 5 op
Microsensors

Opintojakson vastuuhenkilö
Jukka Lekkala

Opettajat
Jukka Lekkala

Luentoajat ja -paikat
Per I,II: Keskiviikko 8 - 10, SH108

Toteutuskerrat
  Periodi 1 Periodi 2 Periodi 3 Periodi 4 Periodi 5 Kesä
Luento 2 h/vko 2 h/vko - - - -
Harjoitus 2 h/vko 1 h/vko - - - -
Seminaari - 1 h/vko - - - -
Tentti  
(Lukuvuoden 2007-2008 aikataulu)

Tavoitteet
Anturitekniikan syventävä opintojakso, jossa perehdytään mikroantureihin, niiden valmistukseen ja sovellutuksiin.

Sisältö
Sisältöalue Ydinaines Täydentävä tietämys Erityistietämys
1. Anturien periaatteet ja jaottelu, signaalien jako energiatyypin mukaan, integroidut anturit, mikroanturien suunnitteluperiaatteet  Fysikaaliset ja kemialliset ilmiöt kiinteissä materiaaleissa, kohinan synty ja kohinatyypit  Mallinnusohjelmat (esim. Comsol Multiphysics) 
2. Anturimateriaalit ja valmistusteknologiat, ohut- ja paksokalvotekniikat, piin prosessointitekniikat, fotolitografian periaatteet, piin mikromekaniikka, anturien kotelointi.  Piin kiderakenne ja ominaisuudet, prosessointilaitteiden periaatteet, mikroelektroniikan komponentit (diodi, transistori, FET)    
3. Lämpötila-anturit, Seebeck'in ilmiö metalleissa ja puolijohteissa, termistorit, diodi ja transistori lämpötila-anturina.
Säteilyanturit, valovastus, fotodiodi, pyrosähköiset anturit.
Paineanturit, pietsoresistiivinen kalvoanturi, kapasitiivinen ja resonanssianturi. 		 Säteilyn ja materiaalin vuorovaikutus    
4. Inertia-anturit, kiihtyvyysanturi, gyro. Virtausanturit. Magneettikentän anturit, Hall-anturi, magnetoresistiiviset anturit. Kemialliset anturit, ioniselektiiviset anturit, kaasuanturit.  Mikrofluidistiikka    
5. Anturien kotelointi ja pakkaaminen. Mikroanturien sovelluksia. Esimerkkejä kaupallisista antureista.  Mikroelektroniikan pakkausmenetelmät    

Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset/seminaariesitelmä ja tentti.

Opintojakson arviointikriteerit

  • Tentin pistemäärä, harjoituksista saatu bonus ja hyväksytty seminaariesitelmä määräävät opintojakson arvosanan

  • Opintojaksolla käytetään numeerista arviointiasteikkoa (1-5)

    • Oppimateriaali
    Tyyppi Nimi Tekijä ISBN URL Painos,saatavuus... Tenttimateriaali Kieli
    Opintomoniste Mikroanturit 2002 Jouko Halttunen     PDF-dokumenttina opintojakson verkkosivuilla Kyllä  Suomi 
    Luentokalvot Mikroanturit Jukka Lekkala     PDF-dokumenttina opintojakson verkkosivuilla Kyllä  Suomi 
    Kirja Microsensors - Principles and Applications Julian W. Gardner ISBN 0 471 94135 2     Ei ole  Englanti 

    Esitiedot
    Tunnus Nimi OP P/S
    MIT-4010 MIT-4010 Anturifysiikka 7 Suositeltava

    Esitietoketju (Vaatii kirjautumisen TTY Intranetiin)

    Huomautuksia

  • Opintojakson osasuoritusten pitää liittyä samaan toteutuskertaan.

  • Opintojakso soveltuu jatko-opinnoiksi.

    • Tieto- ja viestintätekniikan (TVT) käyttö opetuksessa

  • Opintojaksolla hyödynnetyt tieto- ja viestintätekniikat

    • - tiedottamisessa kotisivuilla, uutisryhmissä tai s-postilistoilla esim. ajankohtaiset asiat, aikataulut
    - harjoitustöiden, materiaalin jne. jakelussa ja/tai palauttamisessa

  • Arvioitu opintojakson toteutustapa

    • - Lähiopetuksen osuus: 75 %
    - Etäopetuksen osuus: 0 %
    - Opiskelijan itseopiskelun osuus: 25 %

    Mitoitus
    OpetusmuodotTuntia
    Luennot 36
    Harjoitukset 45
    Seminaarityöt 19

    Oppimateriaali Tuntia
    Luentokalvot 17
    Mikroanturit-luentomoniste 5
    Microsensors, Gardner 8

    Muu mitoitettuTuntia
    Tentti/välikokeet 3
    Kaikki yhteensä 133

    Opintojakson opetukseen ja oppimiseen liittyvät periaatteet ja lähtökohdat

  • Opetus perustuu luentoihin, harjoituksiin ja jokaisen opiskelijan pitämään seminaariesitelmään

    • Opintojaksokorvaavuus
    7504020 Mikroanturit

    Opintojakson kotisivu

    Viimeksi muokattu 05.03.2007
    MuokkaajaHeikki Jokinen