74371
MIKROELEKTRONIIKAN ERITYISKYSYMYKSIÄ,
SPECIAL ISSUES IN MICROELECTRONICS (POSTGRADUATE COURSE), 2-4 ov
Tietoa luennoitsijoista
TkT PEKKA HEINO, pekka.heino@tut.fi
Luentoja ja harjoituksia
Luentoja 14 h.
Luentoajat ja -paikat
TORSTAI 10 - 12, SM221,
Viikottainen opetus/periodi |
|
|
|
|
|
Luennot (h): |
- |
- |
- |
2 |
- |
Harjoitukset (h): |
- |
- |
- |
- |
- |
Tavoitteet
Opiskelija ymmärtää yleisimpien mikroelektromekaanisten komponenttien toimintaperiaatteet.
Sisältö
Aihe: Elektroniikan mikroelektromekaaniset (MEMS) komponentit. Sisältö: MEMS aktuaattorit, värähtelijät ja sensorit. 2 ov.
Tutkintovaatimukset
Hyväksytysti suoritetut tentti ja seminaariesitelmä tai essee.
Kirjallisuus
De Los Santos, H.J.: Introduction to Microelectromechanical (MEM) microwave systems (Artech house 1999) ISBN 0-89006-282-X. Lisäksi soveltuvin osin Kovacs, G.T.A.: Micromachined transducers sourcebook (McGraw-Hill 1998) ISBN 0-07-290722-3.