TTKK Opinto-opas
74371 Mikroelektroniikan erityiskysymyksiä, 2-4 ov
Special Issues in Microelectronics (postgraduate course), 2-4 cu
TkT PEKKA HEINO, pekka.heino@tut.fi
Luentoja 14 h.
| Viikottainen Opetus / Periodi |
S1 | S2 | K1 | K2 | Kesä |
|---|
| Luennot (h) | - | 2 |
- | - | - |
|---|
| Harjoitukset (h) | - | - |
- | - | - |
|---|
Tavoitteet
Opiskelija ymmärtää yleisimpien mikroelektromekaanisten komponenttien
toimintaperiaatteet.
Sisältö
Aihe: Elektroniikan mikroelektromekaaniset (MEMS) komponentit.
Sisältö: MEMS aktuaattorit, värähtelijät ja sensorit. 2 ov.
Tutkintovaatimukset
Hyväksytysti suoritetut tentti ja seminaariesitelmä tai essee.
Kirjallisuus
De Los Santos, H.J.: Introduction to Microelectromechanical (MEM) microwave
systems (Artech house 1999) ISBN 0-89006-282-X. Lisäksi soveltuvin osin
Kovacs, G.T.A.: Micromachined transducers sourcebook (McGraw-Hill 1998)
ISBN 0-07-290722-3.