Opintojakson vastuuhenkilö
Petri Vuoristo

Opettajat
Petri Vuoristo, professori, petri.vuoristo@tut.fi

Luentoajat ja -paikat
Per V: Perjantai 9 - 12, K3441 (M)

Toteutuskerrat
Toteutus 1

	Periodi 1	Periodi 2	Periodi 3	Periodi 4	Periodi 5	Kesä	Opetuskieli
Luento	-	-	-	-	3 h/vko	-	Vain suomeksi
Harjoitus	-	-	-	-	1 h/vko	-	Vain suomeksi
Tentti							Vain suomeksi

(Lukuvuoden 2005-2006 aikataulu)

Tavoitteet
Antaa perustiedot moderneista ohutpinnoitteiden valmistustekniikoista.

Sisältö

Sisältöalue	Ydinaines	Täydentävä tietämys	Erityistietämys
1.	Ohutpinnoitteiden rakenteet, ominaisuudet ja käyttökohteet.
2.	Valmistustekniikat; kaasufaasimenetelmät: CVD, PVD ja ionisuihkutekniikat, eri menetelmien perusteet, tyhjötekniikka, menetelmämuunnokset.

Suoritusvaatimukset
Hyväksytysti suoritettu kirjallinen tentti luentojen ja harjoitusten sisällöstä. Pakolliset harjoitukset. Henkilökohtainen seminaariesitelmä.

Opintojakson arviointikriteerit

Oppimateriaali

Tyyppi	Nimi	Tekijä	ISBN	URL,painos,saatavuus...	Tenttimateriaali	Kieli
Opintomoniste	Ohutkalvotekniikat	Vuoristo			Ei ole

Esitiedot

Tunnus	Nimi	OP	P/S
MOL-7610	Pinnoitteet ja pintakäsittelyt	5	Suositeltava

Opintojaksokorvaavuus
2806120 Ohutkalvotekniikat

Viimeksi muokattu	01.04.2005
Muokkaaja	Juha Nykänen