7504030
PIIANTURIEN SUUNNITTELU,
DESIGN OF SILICON SENSORS, 4-5 ov
Tietoa luennoitsijoista
Professori JUKKA LEKKALA
Luentoja ja harjoituksia
Luentoja 35 h. Harjoituksia 35 h + sunnittelutyö.
Luentoajat ja -paikat
per III: Perjantai 8 - 11, SH108
per IV: Perjantai 8 - 10, SH108
Viikottainen opetus/periodi |
|
|
|
|
|
Luennot (h): |
- |
- |
3+ |
2 |
- |
Harjoitukset (h): |
- |
- |
2+ |
3 |
- |
Tavoitteet
Antaa valmiudet piimikroanturien suunnitteluun, mallinnukseen ja simulointiin.
Sisältö
Pii anturimateriaalina. Mikroanturien valmistusmenetelmät ja -prosessit. Anturien mallinnus- ja simulointimenetelmät. Eri mallinnusohjelmien käyttö. Elastiset rakenteet mikromekaanisissa piiantureissa. Sähköinen, terminen ja magneettinen heräte. Mittauskytkennät, lukuelektroniikka ja kohina. Esimerkkiantureita. Anturien kotelointi.
Tutkintovaatimukset
Hyväksytysti suoritetut harjoitukset ja tentti (4 ov) sekä harjoitustyö (1 ov, ei pakollinen).
Kirjallisuus
Senturia, Stephen D. Microsystem Design. Kluwer Academic Publishers, 2001. Pelesko, John A., Bernstein, David H. Modeling MEMS and NEMS. CRC Press, 2002. Wiegerink, Remco J., Elwenspoek, Miko. Micromechanical Sensors. Springer Verlag, 2001.
Esitiedot
Numero |
Nimi |
|
|
75500 |
4 |
Suositus |
|
7504010 |
4 |
Suositus |
|
7504020 |
3 |
Suositus |
Huomautuksia
Soveltuu jatko-opintoihin. Suositeltava vuosikurssi IV.